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台阶仪设备中标结果公告

来源:机电产品招标投标电子交易平台 2023-07-10 12:15:09

项目名称:北京怀柔实验室2023年第四批科研设备采购项目


(资料图片仅供参考)

项目编号:1495-234thhrlab04/03

招标范围:产品名称:台阶仪设备 数量:2台 简要技术规格:台阶仪是一种半导体芯片过程检测设备,具体规格如下: 1)台阶仪1台,用于金属前道工艺量测硅片表面介质膜干法刻蚀的台阶,重复性≤0.45埃; 2)台阶仪1台,用于金属后道工艺量测硅片表面介质膜湿法腐蚀的台阶,重复性≤0.45埃。

招标机构:天恒招标有限公司

招标人:北京怀柔实验室

开标时间:2023-06-30 09:30

公示时间:2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59

中标结果公告时间:2023-07-07 14:24

中标人:瑞德仪实业有限公司

制造商:Bruker Nano Inc.

制造商国家或地区:马来西亚

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